流量計測量復(fù)合分子泵抽速裝置研制

 

　　本工作研制了一臺采用流量計測量復(fù)合分子泵抽速的裝置。本裝置由測試臺車、機柜、計算機自動控制和數(shù)據(jù)采集處理系統(tǒng)三部分組成。選用3 個高精度流量計，滿量程分別為1000 sccm、100 sccm 和10 sccm，并聯(lián)組成流量計組件用于測量輸入氣體的流量，選用高精度的復(fù)合真空計測量真空測試罩內(nèi)氣壓。抽速測試結(jié)果顯示，一臺1200 L/s 的復(fù)合分子泵N2抽速重復(fù)測量5 次，14 個氣壓測試點對應(yīng)的抽速的zui大相對標(biāo)準(zhǔn)偏差小于2%，重復(fù)性好。抽速測量的誤差主要由流量計和真空計的系統(tǒng)誤差決定。采用流量計測量一臺分子泵在真空度2.00×10-3 Pa~2.00 Pa 范圍的抽速，測量時間20 min 以內(nèi)。
 

　　全玻璃真空太陽集熱管制備工藝過程中，廣采用三靶鍍膜機在集熱管內(nèi)管外表面上沉積金屬陶瓷太陽選擇性吸收涂層，鍍膜真空室采用油擴(kuò)散泵抽高真空。章其初等人在開發(fā)集熱管自動連續(xù)鍍膜線時，采用復(fù)合分子泵替代油擴(kuò)散泵抽高真空獲得成功，并產(chǎn)業(yè)化推廣。另外，王雙等人在集熱管自動連續(xù)烘烤排氣線上，采用復(fù)合分子泵替代油擴(kuò)散泵抽高真空試驗也獲得了成功，并已廣泛應(yīng)用于工業(yè)生產(chǎn)中。磁控濺射鍍膜工藝在氣壓1.0×10-1 Pa~1.0 Pa 范圍，集熱管排氣工藝在氣壓1.0×10-2Pa~1.0 Pa 范圍，因此1.0×10-2 Pa~1.0 Pa 氣壓范圍的分子泵抽速對鍍膜線的設(shè)計、鍍膜工藝以及排氣工藝的研究至關(guān)重要。
 

　　1987 年制定的國標(biāo)GB 7774-87《渦輪分子泵性能測試方法》，規(guī)定充入泵內(nèi)的氣體流量按照1986 年制定的國標(biāo)GB 6307.1-86《蒸汽流真空泵抽氣速率體積流率測試方法》進(jìn)行測量。采用滴管式流量測量裝置，測量油柱上升的高度和時間，間接表述流量值。張璠等人詳細(xì)研討了滴管式測量流量和計算抽速的方法。上述分子泵抽速的測量方法在本文中簡稱為“滴管法”。如測量名義抽速為1600 L/s 的復(fù)合分子泵，采用阿爾卡特公司發(fā)表的抽速數(shù)據(jù)，我們計算得到，氣壓為1 Pa 時，流量為1429 Pa·L/s，需要300 mL 的大容量滴管或替代滴管的玻璃器皿;氣壓為3×10-3 Pa 時，流量為4.8 Pa·L/s，僅為1 Pa 時流量的1/300，需要容量僅為5 mL 的滴管，油柱上升的高度和時間測量誤差大，因而導(dǎo)致抽速測量誤差大。采用滴管法測量抽速時，在不同氣壓測量點需更換不同規(guī)格的滴管，操作繁瑣，耗時長，約4 h，國內(nèi)分子泵制造廠當(dāng)前均采用滴管法進(jìn)行抽速測量。2007 年制定的國標(biāo)GB 7774-2007《渦輪分子泵性能參數(shù)的測量》中，規(guī)定采用流量法和標(biāo)準(zhǔn)流導(dǎo)法測量抽速。
 

　　本工作設(shè)計研制了一臺采用流量計測量復(fù)合分子泵抽速的裝置，采用流量計組件輸入測試氣體至真空測試罩。測量了名義抽速為1200 L/s 的復(fù)合分子泵在2.00×10-3 Pa~2.00 Pa 氣壓范圍的抽速。
 

　　1、抽速測試原理
 

　　真空裝置的氣體流量Q 與真空室的氣壓P和真空泵的有效抽速V 有如下基本關(guān)系式：
 

　　Q = P×V (1)
 

　　復(fù)合分子泵抽速測量過程中，當(dāng)真空測試罩內(nèi)的本底氣壓遠(yuǎn)遠(yuǎn)小于抽速測量時的氣壓，利用公式(1)可以得到如下分子泵抽速的表達(dá)式，
 

　　V(P) = Q(P)/P (2)
 

　　式中Q 為充入測試罩內(nèi)的工作氣體流量(Pa·L/s)，P 為測試罩內(nèi)氣壓(Pa)，V 為復(fù)合分子泵的有效抽速(L/s)。流量Q 和抽速V 均與氣壓P 相關(guān)。
 

　　選擇合適的流量計是決定抽速測量精度的關(guān)鍵之一。若已知分子泵不同氣壓下的抽速，利用公式(1) 可以計算得到不同氣壓下的氣體流量。引言中提到的鍍膜線、排氣線分別采用國產(chǎn)名義抽速為1600 L/s、1200 L/s 的復(fù)合分子泵抽高真空。因此，作為例子本工作分別選用阿爾卡特公司產(chǎn)品手冊中1600 L/s(型號ATH1600M)和1200 L/s(型號ATH1200M)的兩種復(fù)合分子泵的抽速隨氣壓變化數(shù)據(jù)，利用公式(1)計算得到其在3×10-3 Pa~1 Pa 氣壓范圍的工作氣體N2 流量Q(Pa·L/s)，如表1 所示。表中同時給出了以sccm(流量計常用單位)為單位的流量值。由表1 可以看出，ATH1600M 型分子泵抽速在氣壓3×10-3 Pa~1 Pa 對應(yīng)的N2 流量為2.9 sccm~860.8 sccm。因此應(yīng)選用滿量程為1000 sccm的流量計才能滿足該分子泵在1 Pa 時的抽速測量。但是，該分子泵在3×10-3 Pa 時的流量僅為2.9 sccm。因此測量分子泵從3×10-3 Pa~1 Pa 氣壓范圍的N2 抽速，要選擇若干個不同滿量程的流量計組成流量計組件才能獲得較高的抽速測量精度。